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钙钛矿涂布机
适用于120mm*600mm以及其它中试线、量产线基板尺寸的钙钛矿涂布线
配备高精密供液泵,注液精度达0.1ul/s
X轴配置,直线电机双驱+光栅尺+精密气浮导轨,X轴定位精度优于10um
Z轴配置,精密滚珠直线导轨+um级激光位移传感器,Z轴定位精度优于10um
洁净外罩,配备专业洁净外罩,可以控制涂布区域洁净度100级
提供其它定制化需求,如自动化预涂清洗单元,机械手上下料,流体柜等附属设备
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0512-55380588
业务直线-徐洪斌 18913250235